智能手機、平板電腦、游戲機、導航系統(tǒng)、純平顯示器,這些以及其他很多高科技產(chǎn)品由于半導體產(chǎn)業(yè)才得以存在。在半導體芯片生產(chǎn)線制程工藝中,會使用到特種工藝氣體,也會產(chǎn)生大量危險性氣體,需要使用氣體檢測儀對空氣中有毒有害氣體含量進行檢測,防止因氣體泄漏,導致危險發(fā)生。
(東日瀛能 SK/MIC-800-GAS-Y 便攜式氣體檢測儀)
目前,應用于半導體產(chǎn)業(yè)的特種氣體有110余種,常用的有20-30種。
按其危險性分類可分為:惰性氣體、易ran氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體、氧化性氣體、低溫氣體。
1惰性氣體
不可燃氣體有N2、Ar、He等,它們具有窒息性,即取代肺中的氧氣后能讓人窒息而死。
2易ran氣體
易ran氣體有C2H2、H2、CH4、SIH4、PH3、NH3等,它們具有窒息性,可燃性,其中有些氣體如H2、CH4、SIH4、PH3還具有爆炸的可能性。
3毒性氣體
毒性氣體有AsH3、PH3、COCL2等,它們的毒性對身體有害,有的可能造成人員中毒死亡。中毒途徑有吸人、吸收(通過皮膚)、吞食、注射(通過傷口)。
4腐蝕性氣體
腐蝕性氣體可分為低腐蝕性氣體如HF、BCL3、和高腐蝕性氣體如HCL、BF3、二氯甲烷(DCS)、三lv甲烷(TCS)及三氯化氯(CLF3)等,它們具有摧毀人的生理組織以及腐蝕設備的危害。
5氧化氣體
氧化性氣體有O2、N20等它們具有助燃性、高反應性。
6低溫氣體
低溫液體是指在常壓下沸點低于-240,例如:液氧、液氬、液氮、液氫、液氦。它們的低溫可能會引起凍傷,以及引起周圍物品的損傷危險,包括過冷、過大的體積膨脹。
(東日瀛能 SK-7500-GAS-Y 固定污染源廢氣氣體在線監(jiān)測預處理系統(tǒng))
半導體芯片生產(chǎn)過程中,會產(chǎn)生大量的有毒有害氣體
主要包括:酸堿廢氣和有機廢氣兩類。
酸/堿廢氣包括:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。
有機廢氣包括:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等;
主要危害:
半導體芯片生產(chǎn)線的切題危害,主要是器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學藥劑(如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物)揮發(fā)造成的,以及整機裝配過程中產(chǎn)生的粉塵,會造成人群慢性或急性中毒。
東日瀛能SK/MIC-600-GAS-Y固定式可燃有毒有害氣體濃度檢測儀與SK/MIC-800-GAS-Y便攜式可燃有毒有害氣體濃度檢測儀采用進口傳感器,抗中毒,高穩(wěn)定性高精度,可實時在線監(jiān)測其濃度,自帶顯示與聲光報警。固定式自帶4-20MA、RS485以及開關量輸出,可定制無線傳輸數(shù)據(jù),高低報警值自由設置,當氣體濃度超標時,自動發(fā)出85dB以上的報警聲響,聯(lián)動排氣扇等設備,做出相應的防護動作。精度高、穩(wěn)定性強、誤差率低;配備工業(yè)級鋁合金防護外殼,堅固耐用。
(東日瀛能 SK/MIC-600-GAS-Y 固定式氣體檢測儀)